20世纪60年代中期，小功率伺服型步进电机和液压扭矩放大器所组成的开环系统曾一度广泛应用于数控机床。其有代表性的是日本公司的电液脉冲马达伺服系统。但由于该系统结构过于复杂、可靠性差等缺点。
20世纪60年代后期，在数控机床上广泛使用的小惯量直流电动机。小惯量直流电机因增加了中间齿轮传动而使电动机的结构变得更为复杂，容易出现磨损，增大传动间隙，影响传动精度。
近几年来，国际上出现了许多采用直线电机进给伺服系统的加工设备。在1993年汉诺威欧机床博览会上，德国展出了世界上一台采用直线电机卧式加工中心，拉开了直线电机伺服系统的序幕。直线伺服是高速高精数控机床的理想驱动模式，无论是在国外还是国内都在积极的研究、探索之中，将会是下一代数控机床的一个显著特色。
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