北京埃德万斯离子束技术研究所有限公司(以下简称“埃德万斯”)是国内著名的先进离子束技术引领者以及国内首家非硅微纳制造解决方案提供商。目前埃德万斯除了继续研发制造销售成套离子束加工设备之外,还在开展的制造工艺研发项目包括:溅射合金薄膜压力传感器、薄膜电阻、薄膜电感、氮化铝薄膜。
房山离子束分析具有一定能量的离子与物质相互作用会使其发射电子、光子、X射线等,还可能发生弹性散射、非弹性散射以及核反应,产生反弹离子、反冲核、γ射线、氢核、氚核、粒子等核反应产物,可以提供有关该物质的组分、结构和状态等信息。利用这些信息来分析样品统称离子束分析。
在房山离子束分析方法中,比较成熟的有背散射分析X射线荧光分析、核反应分析和沟道效应(见沟道效应和阻塞效应)与其他分析相结合的分析方法等。此外,利用低能离子束还可作表面成分分析,如离子散射谱(ZSS)、次级离子质谱(SZMS)等。超灵敏质谱(加速器质谱)、带电粒子活化分析、离子激发光谱、离子激发俄歇电子谱等正在发展中。用于离子束分析的MV级加速器已有专门的商业化设备。