武清区三轴精密气浮运动平台的产品特点

武清区三轴精密气浮运动平台的产品特点，三轴精密气浮运动平台采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈，Z轴含气缸配重，有效抵消电机向上输出力，应用于激光微纳加工、测试测量、半导体加工及检测等领域。