材料的选择压力传感器硅杯材料的选择是极为重要的,它是决定传感器灵敏度的因素之一。为了提高满量程输出,减小零点温度漂移及提高线性度,膜片上的电阻连成应变全桥电路。硅杯上电阻变化率由下式表示 电阻变化与应力和压阻系数有关。在相同表面浓度下,P型硅的压阻系数比N型的高,而温度系数比N 型的小,所以选用; 型硅作为力敏电阻有利于提高灵敏度和减少温度影响。考虑到硅杯制作工艺,N型硅在碱性溶液(如KOH)具有各向异性腐蚀的特性,可利用终点腐蚀技术控制硅膜片的厚度,所以硅杯材料选用N型(100)晶面或(110)晶面,在其上扩散; 型杂质,形成电阻条,电阻与衬底以PN结隔离。
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