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据昆山压合硅铁板生产厂家获悉硅压阻式压力传感器材料的选择是极为重要

来源:www.97506.com 发布于:2019年08月10日 17:45:10

据昆山压合硅铁板生产厂家获悉硅压阻式压力传感器材料的选择是极为重要压力传感器的设计,就是为得到线性度好、灵敏度高、输出稳定性好的传感器而进行力学结构的选择、晶向和晶面的选择,掩模版图的设计和工艺参数的设计等。
据昆山压合硅铁板生产厂家获悉硅压阻式压力传感器材料的选择是极为重要压力传感器的设计,就是为得到线性度好、灵敏度高、输出稳定性好的传感器而进行力学结构的选择、晶向和晶面的选择,掩模版图的设计和工艺参数的设计等。 
材料的选择压力传感器硅杯材料的选择是极为重要的,它是决定传感器灵敏度的因素之一。为了提高满量程输出,减小零点温度漂移及提高线性度,膜片上的电阻连成应变全桥电路。硅杯上电阻变化率由下式表示 电阻变化与应力和压阻系数有关。在相同表面浓度下,P型硅的压阻系数比N型的高,而温度系数比N 型的小,所以选用; 型硅作为力敏电阻有利于提高灵敏度和减少温度影响。考虑到硅杯制作工艺,N型硅在碱性溶液(如KOH)具有各向异性腐蚀的特性,可利用终点腐蚀技术控制硅膜片的厚度,所以硅杯材料选用N型(100)晶面或(110)晶面,在其上扩散; 型杂质,形成电阻条,电阻与衬底以PN结隔离。
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