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天津气浮转台应用范围的拓展

来源:www.97506.com 发布于:2021年05月18日 11:30:18

天津气浮转台应用范围的拓展,由于独特的设计和生产工艺,以及两者紧密结合,中精微气浮转台,具有承载特别大、特别高、隔尘设计、温度适应性强等特点。
天津气浮转台应用范围的拓展,由于独特的设计和生产工艺,以及两者紧密结合,中精微气浮转台,具有承载特别大、特别高、隔尘设计、温度适应性强等特点。
在积极推进气浮转台在测试、光刻、激光加工等领域应用的基础上,努力推进中精微气浮转台在精密磨削领域和硅片加工领域应用。目前都有了一些阶段性成果和进展。

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