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红桥区双轴超精密气浮运动台产品特点
红桥区双轴超精密气浮运动台产品特点
来源：
www.97506.com
发布于：2021年05月24日 15:33:24
红桥区双轴超精密气浮运动台产品特点，采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能
红桥区双轴超精密气浮运动台产品特点，采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。
产品特点：
1.采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度
2.速度1m/s，快速的整定时间
3.可选光栅或激光干涉仪位置反馈
4.优化线缆管理系统
5.根据需求可定制
广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。
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