从集成电路的诞生算起，微细加工技术的历史还不到半个世纪，可是微细加工技术的发展 却表现出惊人的速度。它的发展不仅使集成电路的集成度越来越高，使得微电脑的功能越来 越强大，而且满足了人们对许多工业产品功能集成化和外形小型化的不断需求。目前生产的 便携式录音机的机械和电路所占空间容积仅为I960年代产品的1%;光通信机器中激光二极 管所需非球面透镜的尺寸仅为0.1?1 mm，其模具制造必须采用微细加工技术。此外，进人 人体的医疗机械和微管道自动检测装置等都需要微型的齿轮、电机、传感器和控制电路，它们 的加工制造巳逐渐成为现实。
微细加工技术的发展促进了微型机械的系统化，从而催生了微机电系统（Micro Electro Mechanical System,简称MEMS)技术。在传感器制造中采用MEMS技术，将传感器和电路 蚀刻在一起，不仅大大减小了其体积，而且可以大幅度降低加工成本。如汽车安全气囊中的传 感器制造，采用MEMS技术后可将其成本降低到原来的40%。
微细加工技术由于其加工对象尺度小到微米级，所加工的尺寸公差及形位公差小至数十 纳米，表面粗糙度则低达纳米级，所以它往往兼具微小和超精密加工的特征，和纳米加工正逐 渐融合。
今天，人们已在实验室实现了单个原子的搬迁和排列，批量生产的集成电路其线宽也已突 破100 nm。另外，纳米材料制备技术不断成熟，纳米进给工作台已形成批量生产能力，纳米切 削机床已经诞生。这些技术的发展不仅极大地丰富了纳米加工技术的内涵，而且为纳米加工 技术的发展提供了良好的基础。随着现代加工技术的进步，微细加工和纳米加工技术有着广 阔的发展前景。
追求加工智能化
随着自动化技术、现代控制技术、计算机技术以及人工智能技术的发展，智能在制造中的 应用越来越受到学术界和企业界的重视，智能制造技术与系统的研究巳在世界范围内展开。 智能加工技术的概念就是在这样的大背景下诞生的。
智能加工是一种基于多传感融合以及知识处理理论和技术的加工方式，以满足人们所要 求的高效益、低成本、操作简便等需求，解决加工过程中众多不确定性的、要求人工干预才能解 决的问题。它的最终目的是要由计算机取代或延伸加工过程中人的部分脑力劳动，实现加工 过程中决策、监测与控制的自动化。智能加工技术的基本特征可以概括为以下几点：
①基于人工知识系统，部分代替人的决策，自动产生零部件的加工方案和初步的加工 参数。
②具有根据外部传感信号的变化，实时监测加工过程的能力。
③具有根据工件形状变化实时优化调整加工参数，使加工系统始终处于最优工作状态的 能力。
④根据加工状态的监测，能对机床故障进行自我诊断、自我排除、自我修复等。
⑤能为操作人员提供人机一体化的智能交互界面。
⑥具有加工经验的自我积累能力，通过加工过程的延续，不断获取加工知识、丰富原有的 知识系统。
目前，真正的智能加工系统还没有建立起来，但是由于机床熟练操作人员在世界范围内的 缺乏以及工业对加工技术提出越来越高的要求，因此，提高加工的智能化水平势在必行，加工 的智能化是现代加工技术发展的必然趋势。