可变后掠翼飞机的中翼盒长达6. 7 m,壁厚12. 7?57 mm，可以用钛合金小零件以电子束 焊接制成，共70道焊缝。仅此项工艺，便可减少飞机重量270 kg。大型涡轮风扇发动机钛合 金机匣，壁厚1.8?69. 8 mm,外径2.4 m，是发动机中最大，加工最复杂，成本最高的部件。采 用电子束焊接后，节约了材料和工时，成本可下降40%。据报道，前苏联和美国所拥有的电子 束焊机，约30%用于航空工业，可见电子束焊接在航空工业中的重要地位。
登月舱铍合金框架和制动引擎中的64处零部件都采用了电子束焊接。研究证明，在宇宙 空间用电子束焊接是极有效的。宇宙空间满足了电子束焊所需要的真空环境，而且电子束的 能量转换效率最高，可以在宇宙飞行中进行特种材料焊接，使用的电子束焊接设备包括电源、 控制系统和手握式电子枪，其质量仅28 kg。
应用电子束焊接技术可以改进机械结构设计，例如加工大型齿轮组件时，传统结构是用整 体加工或用螺栓钽合分体加工，这种情况下费时、费料且结构笨重，而采用电子束焊接时，可将 齿轮分别加工出来，而后用电子束焊接总成。由于焊接变形仅为几个微米，对组件精度没有影 响。这样的齿轮组件，啮合好、噪声小、传输力矩大，这是电子束焊接最成功的应用范例之一，西方国家汽车工业已广泛采用这项技术。据统计，一台多工位 的齿轮专用电子束焊机，每小时连续焊接齿轮数可达300? 600 套。
电子束焊接还常用于传感器以及电气元件的连接和封装， 尤其一些耐压，耐腐蚀的小型器件在特殊环境工作时，电子束 焊接有其很大优越性。随着大功率的电子束焊机的发展，电子 束焊接工艺已进人重工业领域，在厚壁压力容器、造船工业等 都有良好的应用前景。图6. 27是一些电子束焊接的实例 图片。
电子束曝光在集成电路、微电子器件、集成光学器件、表面声波器件以及微机电系统（MEMS)等元器 件的图形制作技术中，通常需要用电子束曝光处理，作为刻蚀前置工序（如图6. 28所示）。其 实际过程是用电子束辐照涂覆在衬底材料（可以是硅片、石英、陶瓷、玻璃等）上的一层厚度均匀的辐射敏感聚合物薄膜（亦称电子抗蚀剂或电 子胶），使电子和电子胶相互作用，电能转变为化 学能以实现曝光的一种方法。
同光刻胶一样，电子胶也分正、负性。正电 子胶在电子轰击下，聚合物链的断链作用超过交 链作用，因而曝光部分可以用显影剂除去（如 图6. 28(b)所示）。负电子抗蚀剂在电子轰击下，
聚合物主要产生交链作用，因而未曝光部分在显 影剂作用下被除去（如图6. 28(c)所示）。曝光 时，应采用能量密度较低的电子束，使其对工件 表面的辐射敏感聚合物仅起断链或交链作用，而 不能致其分解或软化，乃至发生熔化现象。‘
电子束曝光一般分为两类，扫描电子束曝光（又称电子束线曝光）和投影电子束曝光（又称 电子束面曝光）。由于微型电子器件的图形精细、复杂，且基片面积大，要求电子束精细聚焦， 并能自由移动，精确地扫描达到规定的位置上，即扫描曝光。在工业应用中，我国用投影电子 束曝光机制成的高频器件的最细线宽为2. 5 Mm，间隔为2. 5 pm;表面声波器件的最细线宽为pm,间隔为2 Mni。国外已做出最小线条为1 的器件，即在石榴石上制成的8位移位 寄存器。
除了以上所讲三种电子束加工技术外，电子束表面改性处理，电子束熔炼，电子束铣切，电 子束镀膜等方法也都得到了工业应用。
电子束表面改性处理可以根据聚焦电子束能量密度不同，分为只对材料表面加热而不熔 化的固态处理和使金属熔化一定深度，实现表面熔化处理，而且可以加人其他成分的合金，以 满足材料耐蚀性、韧性和塑性等技术要求。
电子束熔炼是用电子束轰击金属锭，使其重熔，然后在坩埚中凝固结晶。可以熔炼钨、钽、 铌等难熔金属材料，得到高纯度的金属锭。
电子束铣切是利用电子束热加工原理,对工件进行铣切的一种方法。用扫描电子束或程 控脉冲电子束可在金属、玻璃、石墨和塑料等材料上直接加工出沟槽、型孔、窄缝等；还可以用 电子束局部蒸发的方法，在镀于基片表面的薄膜（厚度为10?100 rnn)上铣切出薄膜图形，用 此可以制造薄膜电阻网络。制造一个含有30个电阻网络的薄膜电阻，包括辅助时间在内，总 加工时间为30 S。尽管电子束铣切有加工精度高，速度快和无需刀具等优点，但设备复杂、加 工成本高，只宜用于其他方法难以加工的特殊情况。
电子束镀膜是用电子束作为热源，轰击放在水冷坩埚中的蒸发材料,使其受热蒸发而沉积 在基片上得到所需膜层。它适合于蒸发难熔材料，如钨、钼、氧化钇、氧化锆等。用于光学镜片 镀氧化锆和氧化钍膜；薄膜电路中铼膜电阻器和氟化铜薄膜电容器等。
在电子束加工中，必须注意X射线辐射对人体的危害，当电子束撞击到金属、气体或金属 蒸汽时，会产生X射线，伤害人体细胞，因此需要配置足够厚的钢壁或外壁包铅以防止射线 外溢。