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(1)尽量减少精密机械加工机床中的热源。如机床主轴采用空气轴承代替液体静压轴承以减少发热量；使用发热量小的电动机；将发热器件放在机床床身以外。
(2)采用热膨胀系数小的材料制造机床部件。现在不少坐标测量机和超精密机床使用花岗岩、铟铜、陶瓷铟钢铸铁、低热膨胀系数的铸铁等做机床的关键部件。
(3)机床结构合理化。使在同样温度变化条件下机床的热变形最小。
(4)使机床长期处于热平衡状态，使热变形量成为恒定。
(5)使用大量恒温液体喷淋，形成机床附近局部地区小环境的精密恒温状态。精密机床要保持恒温可用大量的恒温油（或恒温水）浇淋磨削区、关键部件或整个机床。如有的精密缝杠磨床的母丝杠做成带内孔的结构，工作时用恒温油通过丝杠内孔，使母丝杠保持恒温，从而提高了加工丝杠的螺踵精度。采用恒温油对机床喷淋，可明显地减小温度的波动，提高加工精度。图3.23所示为实验室中恒温油的控制系统。很多现代的超精密机械加工机床都采用大鬟恒温油浇淋整个机床的措施。机床恒温在考虑恒温系统和恒温室外，对更高要求的恒温往往是在恒温室内再建小恒温窜，对小恒温室可控制到更高精度。
